逻辑工艺平台

更薄的TSV结构,更多扩充性,更低成本,更广泛的产品应用

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    WoW

    算力芯片和AI 芯片的发展方向上,面对海量的数据,主要的发展方向是存算一体

     

     

     

     

    •逻辑片和DRAM片直接做混合键合

    •采用晶圆堆叠的技术,集成密度提升1000倍

    •解决大算力芯片带宽的问题

    •根据产品的应用,可以提供F2F, F2B等多种工艺流程

     

    CoW

    提升良率,解决多个芯片的高密度集成

     

     

    •当logic芯片进入先进工艺之后,IO器件制造越来越困难,利用CoW技术,可以分开制造 logic和IO wafer,然后再做晶圆堆叠,有效降低成本和加快研发

    •加快产品研发到上市时间,提高IP的复用性

    •分开制造,再用CoW集成,可以提高良率,降低成本

     

    Interpose

     

    提高多种功能的硅转接板

     

     

     

     

     

    •提供1倍光罩,多层金属互联层的硅转接板,嵌入TSV

    •提供4倍光罩的硅转接板,可以嵌入硅基电容等无源器件,实现电容密度1uF每平方毫米;提高系统的集成密度,减少外部无源器件使用数量

    •提供嵌入有源器件的硅板,继续提升集成密度